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音圈往复

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音圈电机往复运动平台

◇ 适应的功能和范围

• 模块化设计
• 高频，高响应

可往复运动数十亿次

• 支持开发定制

磁悬浮非接触运动模式，无噪音、免维护

通常用于半导体和微型运动工业环境

ꄴ前一个：音圈电机往三轴联动平台

ꄲ后一个：恒力弹簧