音圈电机
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音圈电机往复三轴联动平台

▌功能及适用范围

 

• 模块化设计
• 高频，高响应

• 三轴联动精确定位

• 支持开发定制

• 磁悬浮非接触运动方式，无噪音、免维护

• 通常用于半导体和微型运动工业环境

 

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